회사 측은 특허 내용에 대해 “기판을 이송하는 구동원에 기인하지 않고, 이송되는 기판의 저면에 접하여 연동 회전되면서, 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것”이라고 설명했다.
회사는 이를 이용해 FPD제조 장비 경쟁력을 강화하고자 한다고 밝혔다.
뉴스웨이 이수정 기자
crystal@newsway.co.kr
<저작권자 © 온라인 경제미디어 뉴스웨이 · 무단 전재 및 재배포 금지>
등록 2019.09.18 09:40
기자
뉴스웨이 이수정 기자
crystal@newsway.co.kr
<저작권자 © 온라인 경제미디어 뉴스웨이 · 무단 전재 및 재배포 금지>
댓글