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탑엔지니어링, 기판 식각 장치 특허권 취득

[공시]탑엔지니어링, 기판 식각 장치 특허권 취득

등록 2019.09.18 09:40

이수정

  기자

탑엔지니어링은 기판 식각 장치에 대한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.

회사 측은 특허 내용에 대해 “기판을 이송하는 구동원에 기인하지 않고, 이송되는 기판의 저면에 접하여 연동 회전되면서, 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것”이라고 설명했다.

회사는 이를 이용해 FPD제조 장비 경쟁력을 강화하고자 한다고 밝혔다.
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