테스는 13일 ‘기판검사방법 및 기판처리장치’ 국내 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 “이 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “기판의 이송 중에 기판의 에지 등 영역에 파손이 발생하는 경우에 이를 감지할 수 있다”고 설명했다.
회사 측은 “이 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “기판의 이송 중에 기판의 에지 등 영역에 파손이 발생하는 경우에 이를 감지할 수 있다”고 설명했다.
뉴스웨이 이한울 기자
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