테스는 25일 기판 상에 형성되는 박막의 막밀도 및 내식각성이 향상되는 기판 처리 장치 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화할 것이다”고 밝혔다.
강기산 기자 kkszone@
회사 측은 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력을 강화할 것이다”고 밝혔다.
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뉴스웨이 강기산 기자
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